工藝設(shè)計(jì)需要在滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下合理進(jìn)行無(wú)塵室廠房的裝修工程生產(chǎn)設(shè)備布局,合理確定各種公用動(dòng)力設(shè)施的技術(shù)參數(shù),做到能量消耗少、運(yùn)行費(fèi)用低、生產(chǎn)效率高和建設(shè)投資少;同時(shí),還需要合理進(jìn)行人流路線、物料運(yùn)輸和倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)施的配置和布置,滿足電子產(chǎn)品無(wú)塵室廠房的裝修工程生產(chǎn)要求和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求;此外,還應(yīng)該盡可能提升生產(chǎn)設(shè)備的自動(dòng)化水平和物料運(yùn)輸?shù)淖詣?dòng)化水平,在經(jīng)濟(jì)、實(shí)用、安全可靠的條件下提高生產(chǎn)效率。
生產(chǎn)設(shè)備的平面布局也是電子無(wú)塵室廠房的裝修工程工藝設(shè)計(jì)的重要內(nèi)容。電子無(wú)塵廠房形式一般有隧道式(或稱港灣式)、開(kāi)放式、島形布置等。據(jù)調(diào)查表明,集成電路芯片制造用無(wú)塵室廠房的裝修工程一般采用隧道式和開(kāi)放式,其中隧道式潔凈室主要用于5英寸、6英寸芯片制造廠,生產(chǎn)設(shè)備橫跨潔凈生產(chǎn)區(qū)和設(shè)備維護(hù)區(qū),潔凈生產(chǎn)區(qū)對(duì)潔凈度要求嚴(yán)格,而設(shè)備維護(hù)區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)相對(duì)較低。
從無(wú)塵廠房的規(guī)劃開(kāi)始,對(duì)于電子工廠無(wú)塵廠房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。
觸摸屏車間潔凈要求:
LCD無(wú)塵車間凈化其凈化潔凈度一般為萬(wàn)級(jí),局部千級(jí)要求,部分要求恒溫恒濕。
一、無(wú)塵車間安裝室內(nèi)空氣參數(shù)要求:
1、溫濕度要求:溫度一般為23+2℃,相對(duì)濕度為55+5%。
2、新風(fēng)量大。由于這類凈化無(wú)塵車間內(nèi)人員比較多,可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值:非單向流凈化無(wú)塵室車間總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3/h。
3、送風(fēng)量大。為了滿足無(wú)塵凈化車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風(fēng)量,就300平方米的車間,吊頂高度為2、5米的,如果是千級(jí)凈化無(wú)塵車間,送風(fēng)量就需要300×2、5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥25次/h);
4、壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa
5、平均風(fēng)速:100級(jí):0.3-0.5m/s;
6、噪聲≤65dB(A);
7、照度≥300LX
無(wú)塵廠房
二、人流
1、人員凈化:
2、潔凈室入口設(shè)風(fēng)淋室。貨物進(jìn)出設(shè)貨淋室或者傳遞窗等物流通道;
3、單人風(fēng)淋室,應(yīng)按最大班人數(shù)30人設(shè)一臺(tái)。潔凈室人員超過(guò)5人時(shí),風(fēng)淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門;
4、風(fēng)淋室的進(jìn)、出門不得同時(shí)開(kāi)啟,應(yīng)采取連鎖控制措施;
5、空氣潔凈度等級(jí)為5級(jí)或嚴(yán)于5級(jí)的垂直單向流潔凈室,宜設(shè)氣閘室。
三、物流
1、潔凈室內(nèi)的設(shè)備和物料出入口,應(yīng)獨(dú)立設(shè)置,并應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的特征、性質(zhì)、形狀等設(shè)置凈化用室及相應(yīng)的物凈設(shè)施。
2、物料凈化用室與潔凈室之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。
四、靜壓差
1、不同等級(jí)的潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa;
2、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa;
3、潔凈室與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。
五、凈化原理
氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化
重復(fù)以上過(guò)程,即可達(dá)到凈化車間目的
六、結(jié)構(gòu)材料
1、凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。角與角之前的拼接選用圓弧連接,宜清潔,符合GMP要求
2、地坪:可采用2mm/3mm環(huán)氧樹(shù)脂或是PVC地坪,電子廠房選用防靜電地坪
3、送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4、高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔 。
七、凈化參數(shù)
換氣次數(shù):100000級(jí)≥18次;10000級(jí)≥30次;1000≥50次。
壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;
溫度 冬季>16℃;夏季< 26℃;波動(dòng)±2℃。
濕度45-65%;
GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;
電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB(A);
新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;
照度300LX。
A: 集成電路產(chǎn)業(yè)是現(xiàn)代科技產(chǎn)業(yè)的核心領(lǐng)域之一,其生產(chǎn)過(guò)程對(duì)環(huán)境的潔凈度、溫濕度、靜電控制等有著極為嚴(yán)格的要求…
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