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地址:上海市松江區(qū)沈磚公路5666號1幢B棟602室在我國“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”GB 50073-2002中對潔凈室潔凈度等級已做出了規(guī)定（見下表），這一規(guī)定是采用了國際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644中的潔凈度等級。目前，我國、歐盟、日本、俄羅斯等國的潔凈度等級均采用或參照上述國際標(biāo)準(zhǔn)來制訂本國或本地區(qū)的潔凈室潔凈度的等級標(biāo)準(zhǔn)。美國也將本國的FS 209E中潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)修改為ISO 14644標(biāo)準(zhǔn)。
潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子的潔凈度等級（ISO 14644）
|
空氣潔凈度等級（N） |
≥表中粒徑的較大濃度限值（個/m3） |
|||||
|
0.1 μm |
0.2 μm |
0.3 μm |
0.5 μm |
1 μm |
5 μm |
|
|
1 |
10 |
2 |
/ |
/ |
/ |
/ |
|
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
/ |
/ |
|
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
/ |
|
4 |
10,000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
/ |
|
5 |
100,000 |
23700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
|
6 |
1,000,000 |
237000 |
102,000 |
35,200 |
8320 |
293 |
|
7 |
/ |
/ |
/ |
352,000 |
83,200 |
2,930 |
|
8 |
/ |
/ |
/ |
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
|
9 |
/ |
/ |
/ |
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
注：
① 每點(diǎn)至少采樣3次。
② 本標(biāo)準(zhǔn)不適用表征懸浮粒子的物理、化學(xué)、放射及生命性。
③ 根據(jù)工藝要求可確定1~2個粒徑。
④ 根據(jù)要求粒徑D的粒子較大允許濃度由下式確定（粒徑0.1μm~5μm）
潔凈室潔凈度的等級標(biāo)準(zhǔn)
CN= 10N ×(0.1/D)2.08
公式中: N —為潔凈度等級可在1~9級中間以0.1為較小單位遞增量插入。
CN —大于或等于要求粒徑的粒子較大允許濃度（PC/m3），以四舍五入至近似的整數(shù)，有效位數(shù)不超過三位數(shù)。
D —要求的粒徑（μm）。
0.1—常數(shù)（μm）。
為營造無塵車間良好的工作環(huán)境，真正做到無塵作業(yè)，保證產(chǎn)品品質(zhì)，滿足客戶需求，特制定無塵車間環(huán)境管理制度，…
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A： 芯片制造對環(huán)境的潔凈度要求極高，百級潔凈芯片車間的裝修更是一項(xiàng)復(fù)雜而精細(xì)的工程。貞齊凈化作為專業(yè)品牌，在…
A： 微電子無塵車間裝修設(shè)計需要綜合考慮多方面因素，以確保達(dá)到極高的潔凈度和滿足微電子生產(chǎn)的特殊要求。以下是關(guān)…
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